? 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性
? 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性
? PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制,設(shè)備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)
? 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,易于保養(yǎng)與維護
標準腔體電極為平行板電極結(jié)構(gòu),通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
最多支持擴展至8片電極
每對電極間為獨立空間
批處理電極改變了標準的平行板電極結(jié)構(gòu)
通過優(yōu)化的電場和進氣設(shè)計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。